标准编号：GB/T 39159-2020

中文名称：集成电路用高纯铜合金靶材

英文名称：High purity copper alloy target for integrated circuit

发布日期：2020-11-19

实施日期：2021-10-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：