标准编号：GB/T 39145-2020

中文名称：硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

英文名称：Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry

发布日期：2020-10-11

实施日期：2021-09-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：