标准编号：GB/T 38614-2020

中文名称：基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

英文名称：Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator

发布日期：2020-04-28

实施日期：2020-11-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：