GB/T 38447-2020
国家标准

标准编号:GB/T 38447-2020

中文名称:微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

英文名称:Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

发布日期:2020-03-06

实施日期:2020-07-01

代替标准:

标准类别:

采标号:None

采标名称:None

采标程度:

采标类型:

ICS:

CCS: