标准编号:GB/T 38447-2020
中文名称:微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
英文名称:Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
发布日期:2020-03-06
实施日期:2020-07-01
代替标准:
标准类别:
采标号:None
采标名称:None
采标程度:
采标类型:
ICS:
CCS: