标准编号：GB/T 37466-2019

中文名称：氮化镓激光剥离设备

英文名称：Laser lift-off equipment used for GaN

发布日期：2019-06-04

实施日期：2019-10-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：