标准编号：GB/T 16596-2019

中文名称：确定晶片坐标系规范

英文名称：Specification for establishing a wafer coordinate system

发布日期：2019-03-25

实施日期：2020-02-01

代替标准：GB/T 16596-1996

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：