标准编号：GB/T 37049-2018

中文名称：电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

英文名称：Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method

发布日期：2018-12-28

实施日期：2019-04-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：