标准编号：GB/T 13062-2018

中文名称：半导体器件 集成电路 第21-1部分：膜集成电路和混合膜集成电路空白详细规范(采用鉴定批准程序)

英文名称：Semiconductor devices—Integrated circuits—Part 21-1：Blank detail specification for film integrated circuits and hybrid film integrated circuits on the basis of the qualification approval procedures

发布日期：2018-12-28

实施日期：2019-07-01

代替标准：GB/T 13062-1991

标准类别：

采标号：IEC 60748-21-1：1997

采标名称：半导体器件 集成电路 第21-1部分：膜集成电路和混合膜集成电路空白详细规范(采用鉴定批准程序)

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：