标准编号：GB/T 19921-2018

中文名称：硅抛光片表面颗粒测试方法

英文名称：Test method for particles on polished silicon wafer surfaces

发布日期：2018-12-28

实施日期：2019-07-01

代替标准：GB/T 19921-2005

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：