GB/T 26068-2018
国家标准

标准编号:GB/T 26068-2018

中文名称:硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法

英文名称:Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method

发布日期:2018-12-28

实施日期:2019-11-01

代替标准:GB/T 26068-2010

标准类别:

采标号:None

采标名称:None

采标程度:

采标类型:

ICS:

CCS: