标准编号：GB/T 25915.9-2018

中文名称：洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级

英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration

发布日期：2018-06-07

实施日期：2018-10-01

代替标准：

标准类别：

采标号：ISO 14644-9:2012

采标名称：洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：