标准编号：GB/T 36053-2018

中文名称：X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

英文名称：Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

发布日期：2018-03-15

实施日期：2019-02-01

代替标准：

标准类别：

采标号：ISO 16413:2013

采标名称：X射线反射测量法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度—仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：