标准编号：GB/T 34898-2017

中文名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

英文名称：Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element

发布日期：2017-11-01

实施日期：2018-05-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：