标准编号：GB/T 34894-2017

中文名称：微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

英文名称：Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

发布日期：2017-11-01

实施日期：2018-05-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：