标准编号：GB/T 32189-2015

中文名称：氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

英文名称：Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope

发布日期：2015-12-10

实施日期：2016-11-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：