标准编号：GB/T 32278-2015

中文名称：碳化硅单晶片平整度测试方法

英文名称：Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers

发布日期：2015-12-10

实施日期：2017-01-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：