标准编号：GB/T 24578-2015

中文名称：硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

英文名称：Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy

发布日期：2015-12-10

实施日期：2017-01-01

代替标准：GB/T 24578-2009

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：