标准编号：GB/T 32280-2015

中文名称：硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法

英文名称：Test method for warp of silicon wafers—Automated non-contact scanning method

发布日期：2015-12-10

实施日期：2017-01-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：