GB/T 32281-2015
国家标准

标准编号:GB/T 32281-2015

中文名称:太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法

英文名称:Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry

发布日期:2015-12-10

实施日期:2017-01-01

代替标准:

标准类别:

采标号:None

采标名称:None

采标程度:

采标类型:

ICS:

CCS: