标准编号：GB/T 31351-2014

中文名称：碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

英文名称：Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers

发布日期：2014-12-31

实施日期：2015-09-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：