标准编号：GB/T 30652-2014

中文名称：硅外延用三氯氢硅

英文名称：Trichlorosilane for silicon epitaxial

发布日期：2014-12-31

实施日期：2015-09-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：