标准编号：GB/T 31058-2014

中文名称：电子工业用气体 四氟化硅

英文名称：Gases for electronic industry―Silicon tetrafluoride

发布日期：2014-12-22

实施日期：2015-07-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：