标准编号:GB/T 10067.410-2014
中文名称:电热装置基本技术条件 第410部分:单晶炉
英文名称:Basic specifications for electroheat installations―Part 410: Single crystal growing furnace
发布日期:2014-12-05
实施日期:2015-04-16
代替标准:
标准类别:
采标号:None
采标名称:None
采标程度:
采标类型:
ICS:
CCS: