标准编号：GB/T 31225-2014

中文名称：椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法

英文名称：Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer

发布日期：2014-09-30

实施日期：2015-04-15

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：