标准编号：GB/T 30701-2014

中文名称：表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定

英文名称：Surface chemical analysis―Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

发布日期：2014-03-27

实施日期：2014-12-01

代替标准：

标准类别：

采标号：ISO 17331:2004

采标名称：表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：