标准编号：GB/T 30116-2013

中文名称：半导体生产设施电磁兼容性要求

英文名称：Requirements for semiconductor manufacturing facility electromagnetic compatibility

发布日期：2013-12-17

实施日期：2014-04-15

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：