标准编号：GB/T 15872-2013

中文名称：半导体设备电源接口

英文名称：Power supply interface for semiconductor equipment

发布日期：2013-12-17

实施日期：2014-05-15

代替标准：GB/T 15872-1995

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：