标准编号：GB/T 29844-2013

中文名称：用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范

英文名称：Specifications of metrology patterns for the evaluation of advanced photolithgraphy

发布日期：2013-11-12

实施日期：2014-04-15

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：