标准编号：GB/T 29658-2013

中文名称：电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材

英文名称：High-Purity sputtering aluminium and aluminium alloy target used in electronic film

发布日期：2013-09-06

实施日期：2014-05-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：