标准编号:GB/T 29557-2013
中文名称:表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
英文名称:Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurment of sputtered depth
发布日期:2013-07-19
实施日期:2014-03-01
代替标准:
标准类别:
采标号:ISO/TR 15969:2001
采标名称:表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
采标程度:
采标类型:
ICS:
CCS: