标准编号：GB/T 29505-2013

中文名称：硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法

英文名称：Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer

发布日期：2013-05-09

实施日期：2014-02-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：