标准编号：GB/T 29507-2013

中文名称：硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法

英文名称：Test method for measuring flatness, thickness and total thickness variation on silicon wafers by automated non-contact scanning

发布日期：2013-05-09

实施日期：2014-02-01

代替标准：

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：