标准编号:GB/T 29057-2012
中文名称:用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
英文名称:Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy
发布日期:2012-12-31
实施日期:2013-10-01
代替标准:
标准类别:
采标号:SEMI MF1723-1104
采标名称:用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
采标程度:
采标类型:
ICS:
CCS: