标准编号：GB/T 15862-2012

中文名称：离子注入机通用规范

英文名称：General specification of ion implantation equipment

发布日期：2012-11-05

实施日期：2013-02-15

代替标准：GB/T 15862-1995

标准类别：

采标号：None

采标名称：None

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：