标准编号:GB/T 14015-1992
中文名称:硅-蓝宝石外延片
英文名称:Silicon on sapphire epitaxial wafers
发布日期:1992-12-28
实施日期:1993-08-01
代替标准:
标准类别:
采标号:SEMI M3:1983
采标名称:None
采标程度:
采标类型:
ICS:
CCS: