GB/T 14015-1992
国家标准

标准编号:GB/T 14015-1992

中文名称:硅-蓝宝石外延片

英文名称:Silicon on sapphire epitaxial wafers

发布日期:1992-12-28

实施日期:1993-08-01

代替标准:

标准类别:

采标号:SEMI M3:1983

采标名称:None

采标程度:

采标类型:

ICS:

CCS: