标准编号：SJ/T 11502-2015

中文名称：碳化硅单晶抛光片规范

英文名称：

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

代替标准：None

标准类别：产品标准

采标号：

采标名称：

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：