标准编号：YS/T 839-2012

中文名称：硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

英文名称：

发布日期：2012-11-07

实施日期：2013-03-01

代替标准：None

标准类别：无

采标号：

采标名称：

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：