标准编号：SJ/T 10311-1992

中文名称：低压化学气相淀积设备通用技术条件

英文名称：

发布日期：1992-06-15

实施日期：1992-12-01

代替标准：None

标准类别：无

采标号：

采标名称：

采标程度：

采标类型：

ICS：

CCS：